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小型高真空有机金属蒸发镀膜机

2018-01-22  来自: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司 浏览次数:465

  小型高真空有机金属蒸发镀膜机

  广泛应用于高校、科研院所制备功能薄膜、蒸镀电极、扫描电镜制样等,特别适合太阳能电池、有机EL、LED显示管研究与开发领域。

  主要特点/优势:

  完全封闭的系统框架设计,外观更漂亮,使用更安全;是一台兼具美学和用户操控体验的全新升级产品;

  前开门真空腔体,方便取放基片、更换蒸发舟、添加蒸发材料以及真空室的日常维护;

  复合分子泵和直联旋片泵,大抽速准无油真空系统(分子泵抽速≥400L/S);

  两组水冷式蒸发电极,可长时间稳定工作,兼容金属材料与有机材料的蒸发源设计;

  专业真空蒸发电源,数显工作电流和电压,恒流输出;

  可镀110mm方形基片或15~25mm ITO/FTO玻璃25片,可定制一体化高精度刻蚀掩膜板;

  衬底可选择加热或水冷,源基距≥300mm;

  良好的薄膜均匀性和重复性,可在线监测和控制蒸发速率、膜厚;

  可沉积金属(Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等)、非金属、化合物(MoO3, LiF等)及有机物材料,可拓展沉积单层膜、多层膜及混合膜;

  设备集成度高,结构紧凑,占地面积小(0.92平米);设备配脚轮,方便移动和定位。


肇庆市高要区恒誉真空技术有限公司主要产品有:手机镀膜机,光学镀膜机,塑料镀铝机,PVD镀膜机,光学镜片镀膜机,钛金炉,多弧镀膜机,pvd真空电镀,离子镀膜机,镀钛机,陶瓷镀膜机,溅射镀膜机,卷绕镀膜机,真空镀膜机,镀膜机,离子镀,真空电镀机,真空镀膜设备等系列。


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