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真空电子束蒸发镀膜机介绍

2017-12-26  来自: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司 浏览次数:450

  VZS-500/VZS-600 高真空电子束蒸发镀膜机采用完全封闭的系统框架,结构紧凑,外观更漂亮,使用更安全。6-10KW e型电子枪可选国产或进口,可选配离子束清洗及辅助镀膜功能。该设备广泛应用于科研院所、高校在片状、半球状、异形基底表面制备金属/化合物(ITO等氧化物)/导电薄膜/光学薄膜等。

  主要特点/优势:

  完全封闭的系统框架设计,外观更漂亮,使用更安全;是一台兼具美学和用户操控体验的全新升级产品;

  前开门真空腔体,方便取放基片、添加蒸发材料以及真空室的日常维护;

  1200L/s或1600 L/s分子泵作为主抽泵,真空极限高达5×10-5Pa(3.75×10-7Torr);另可选进口磁悬浮分子泵或者低温泵作为主抽泵,真空极限高达3×10-6Pa(2×10-8Torr);

  6~10KW e型电子枪,4-8穴坩埚可选;

  最大180mm基片/15~25mm ITO/FTO玻璃30片/拱形或半球形样品架,可定制一体化高精度刻蚀掩膜板;基片台公转,转速0~25rpm连续可调;平板基底衬底可选择加热或水冷;

  更优的薄膜均匀性和重复性,采用进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚;

  可沉积金属(Au, Ag, Al, Ti, Pt, Mo, Fe, Cr, Ni等)、化合物(ITO等)及有机物材料(进口电子枪);


肇庆市高要区恒誉真空技术有限公司主要产品有:手机镀膜机,光学镀膜机,塑料镀铝机,PVD镀膜机,光学镜片镀膜机,钛金炉,多弧镀膜机,pvd真空电镀,离子镀膜机,镀钛机,陶瓷镀膜机,溅射镀膜机,卷绕镀膜机,真空镀膜机,镀膜机,离子镀,真空电镀机,真空镀膜设备等系列。


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