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常见的真空镀膜机维修办法

2017-12-05  来自: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司 浏览次数:432

  常见的真空镀膜机维修办法

  当真空镀膜机出现故障后应首先要向使用者了解故障的现象,之后要亲自开机观察故障,这样才能更准确、更快、更合理的排除故障。

  当真空镀膜机排除故障应先检测低真空是否正常(机械泵、罗茨泵、管道、下室、蒸发室),低真空正常后再开主泵,主泵正常后检测下室真空中是否正常,下室真空正常再开高阀进行高真空检测检漏,直至达到真空,极限真空、保真空、恢复真空,如极限真空和保真空正常,而恢复真空和真空不正常则可能主泵有问题。

  以下列举真空镀膜机常见故障及维修方法:

  一、当正在镀膜时真空度突然下降

  1、蒸发源水路胶圈损环(更换胶圈)

  2、坩埚被打穿(更换坩埚)

  3、高压电极密封处被击穿(更换胶圈)

  4、工转动密封处胶圈损坏(更换胶圈)

  5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)

  6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)

  7、机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否正常)

  8、烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶圈)

  9、挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈)

  10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃)

  二、长期的镀膜机抽真空的时间很长且达不到真空、恢复真空、极限真空、保真空:

  1、蒸发室有很多粉尘(应清冼)

  2、扩散泵很久未换油(应清冼换油)

  3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低(应清冼换油)

  4、各动密封胶圈损坏(更换胶圈)

  5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化(更换胶圈)

  6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏(更换胶圈)

  7、各引入座螺钉、螺母有无松动现象(重新压紧)

  8、高低预阀是否密封可靠(注油)


肇庆市高要区恒誉真空技术有限公司主要产品有:手机镀膜机,光学镀膜机,塑料镀铝机,PVD镀膜机,光学镜片镀膜机,钛金炉,多弧镀膜机,pvd真空电镀,离子镀膜机,镀钛机,陶瓷镀膜机,溅射镀膜机,卷绕镀膜机,真空镀膜机,镀膜机,离子镀,真空电镀机,真空镀膜设备等系列。


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