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蒸发镀膜机的原理

2017-09-20  来自: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司 浏览次数:450

通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,称为蒸发镀膜。这种方法早由M.法拉第于1857年提出,现代已成为常用镀膜技术之一。蒸发镀膜与其他真空镀膜方法相比,具有较高的沉积速率,可镀制单质和不易热分解的化合物膜。用作真空蒸发镀的装置称为蒸发镀膜机

  为了提高镀层厚度的均匀性,真空室内的镀件夹具有行星机构或自转加公转的运动装置,如用行星运动方式,这种运动方式成膜均匀性好,台阶覆盖性能良好,镀件装载量大,可以充分利用真空镀膜室的有效空间,是目前经常采用的运动方式。蒸发镀膜机主要由真空室、排气系统、蒸发系统和电气设备四部分组成。

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