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离子镀的原理过程

2017-06-13  来自: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司 浏览次数:427

离子镀是真空镀膜工艺的一项新发展。普通真空镀膜(亦称真空蒸镀)时,工件夹固在真空罩内,当高温蒸发源通电加热后,促使待镀材料——蒸发料熔化蒸发。由于温升,蒸发料粒子获得动能,则沿着视线方向徐徐上升,后附着于工件表面上堆积成膜。用这种工艺形成的镀层,与零件表面既无牢固的化学结合,有无扩散连接,附着性能很差,有时就像桌面上落的灰尘一样,用手一摸也会擦掉。然而,离子镀工艺则有所不同,虽然也是在真空罩内进行的,但这时镀膜过程是以电荷传递的形式来实现的。也就是说,蒸发料的粒子作为带正电荷的高能离子在高压阴极(即工件)的吸引下,以很高的速度注入到工件表面。相当于一个从管中射出的高速弹头,可以穿入靶体很深,在工件上形成一种附着牢固的扩散镀层。

  离子镀的作用过程如下:蒸发源接阳极,工件接阴极,当通以三至五千伏高压直流电以后,蒸发源与工件之间产生弧光放电。由于真空罩内充有惰性氩气,在放电电场作用下部分氩气被电离,从而在阴极工件周围形成一等离子暗区。带正电荷的氩离子受阴极负高压的吸引,猛烈地轰击工件表面,致使工件表层粒子和脏物被轰溅抛出,从而使工件待镀表面得到了充分的离子轰击清洗。随后,接通蒸发源交流电源,蒸发料粒子熔化蒸发,进入辉光放电区并被电离。带正电荷的蒸发料离子,在阴极吸引下,随同氩离子一同冲向工件,当抛镀于工件表面上的蒸发料离子超过溅失离子的数量时,则逐渐堆积形成一层牢固粘附于工件表面的镀层。这就是离子镀的简单作用过程。


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